發(fā)布時間：2022年05月31日 17時55分17秒

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　　在微壓測量領(lǐng)域中由于壓力數(shù)值較小，對敏感元件產(chǎn)生的物理變化也相應(yīng)的小很多。這就要求了敏感元件需要滿足相對較高的靈敏度了。而壓力傳感器由于靈敏度較高頻率對壓力的變化比較敏感。因此在低壓高精度的測量中有著相對較好的性能表現(xiàn)。當(dāng)精度要求不是很高的情況下，擴(kuò)散硅和電容式可以兼顧精度和成本。擴(kuò)散硅壓力傳感器的靈敏度較高，其kPa也可應(yīng)用于微壓下的表壓絕壓測量。

　　那么在低壓和中壓的測量應(yīng)用中量程范圍可選性相對來說比較地廣泛，高精度可選諧振式，中等精度水平可以選用擴(kuò)散硅式，陶瓷電容電阻式，金屬應(yīng)變式傳感器擴(kuò)散硅式靈敏度高和體積小以及生產(chǎn)工藝復(fù)雜且相對成本略高，而陶瓷式成本低、精度低、適合大批量低成本應(yīng)用中，由于材料的特性其靈敏度低不耐壓力瞬變和機(jī)械沖擊。金屬應(yīng)變類型考慮了成本和精度。經(jīng)過熱處理的彈性體可以滿足不同測量介質(zhì)的要求。根據(jù)不同的工藝，敏感元件包括濺射膜、玻璃微熔、應(yīng)變片等。從低靈敏度到高靈敏度的范圍受到彈性體工藝的限制，然而在低壓下的測量精度相對較差，實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是金屬彈性體能夠承受較大的沖擊。

　　而在中高壓的應(yīng)用中擴(kuò)散硅和金屬應(yīng)變式各有著廣泛的應(yīng)用，陶瓷受限于材料的強(qiáng)度高壓耐受強(qiáng)度較差。金屬應(yīng)變式還具有較大的優(yōu)勢，同時受益于金屬彈性體材料的強(qiáng)度可以承受幾百兆帕的壓力，同時能夠應(yīng)對較大沖擊的應(yīng)用場景。

　　壓力傳感器如果依照準(zhǔn)確度等級來看的話從高精度的0.01級到低精度的4.0級，通常諧振壓力傳感器還可以滿足從低壓到高壓水平0.01到0.05級的測量要求。擴(kuò)散硅傳感器的精度范圍為0.02～0.5級，陶瓷傳感器的精度范圍為0.2～4.0級，而金屬應(yīng)變傳感器的精度范圍為0.5～4.0級。

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