發(fā)布時(shí)間：2022年06月02日 18時(shí)55分33秒

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　　以偉烽恒廠家的MEMS壓力傳感器為例它廣泛應(yīng)用于發(fā)動(dòng)機(jī)管理系統(tǒng)、舒適系統(tǒng)、傳動(dòng)系統(tǒng)和安全系統(tǒng)。其中MEMS壓力傳感器體積小和靈敏度高，成本低。在5～500kpa的中低壓范圍內(nèi)的應(yīng)用中占有重要地位。MEMS壓力傳感器一般基于硅實(shí)現(xiàn)信號(hào)傳感通過(guò)信號(hào)調(diào)理電路實(shí)現(xiàn)敏感器件的小信號(hào)標(biāo)定、放大、線性化等處理，并根據(jù)后端系統(tǒng)的要求提供不同的信號(hào)輸出形式。通常，傳感設(shè)備的實(shí)現(xiàn)包括壓阻和電容方法。壓阻型可以實(shí)現(xiàn)不同的信號(hào)測(cè)量方法，包括絕對(duì)壓力、差壓等，而電容型產(chǎn)品通常只適用于絕對(duì)壓力信號(hào)測(cè)量。

　　汽車(chē)電子控制系統(tǒng)遵循傳統(tǒng)控制系統(tǒng)的基本邏輯包含，感知，控制以及執(zhí)行三個(gè)環(huán)節(jié)。其中控制單元作為獲取系統(tǒng)和環(huán)境狀態(tài)的傳感單元，結(jié)合傳感器輸入信號(hào)和控制邏輯計(jì)算輸出控制指令，執(zhí)行器完成相應(yīng)動(dòng)作，形成閉環(huán)控制。

　　汽車(chē)傳感器種類(lèi)繁多。其包括壓力、溫度、氣體、加速度、角度、位置、速度等。此外，它還包括攝像頭、雷達(dá)等新型傳感器子系統(tǒng)。

　　與普通集成電路相比MEMS壓力傳感器不僅具有不同的原理，并且還具有非常不同的應(yīng)用環(huán)境。以進(jìn)氣壓力傳感器為例它測(cè)量的是物理量而不是電氣量了，而壓力傳感器需要具備特殊的封裝以將變化的氣壓傳送到MEMS敏感膜，然而汽車(chē)應(yīng)用環(huán)境決定了大氣中含有各種潛在的水分和腐蝕性成分，因此有必要在MEMS敏感膜上涂覆保護(hù)介質(zhì)，以實(shí)現(xiàn)壓力變化的傳遞，保護(hù)敏感元件免受環(huán)境侵蝕，必須確保在全溫度范圍和全壓力范圍內(nèi)具有良好的精度性能和長(zhǎng)期可靠性。

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